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Produktionssysteme für Flachbildschirme, Dünnschicht-Solarmodule Halbleiter; Nanotechnologie, Dünnfilmtechnologien

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Dotierungsanlagen

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Planung und Realisierung kompletter Produktionslinien für Photovoltaik-Wafer, z.B. Diffusions-, CVD-Anlagen

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Wärmebehandlungsanlagen für Wafer und Halbleiterbauelemente (Front-End- und Back-End-Processing

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Industrieöfen nach Konvektions- oder Strahlungsprinzip, elektrisch oder gasbetrieben, Öfen für die Solarindustrie

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Röntgenröhren für die Bildgebung, Ätz- und Beschichtungsanlagen für Wafer, Epitaxie-Systeme (MBE), Schichtdickenmessgeräte, Spektrometer, Diffraktometer

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Vakuumlecksuchgeräte, elektrisch beheizte Laboröfen, Infrarot-Reflow-Lötöfen und -Lötsysteme, Infrarotwärmeanlagen und -geräte, Werkzeuge für Drahtbonder

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Beschichtungs- und Ätzanlagen für die Halbleitertechnik, Ionenstrahlquellen, Epitaxie-Anlagen, Kristallziehanlagen, Waferläppmaschinen, Wafertrennmaschinen